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厚度分选仪
WMS-208AT型激光非接触式厚度分选机
WMS-208AT型激光非接触式厚度分选机

设备性能及技术参数: 1.设备功能

实现全自动对碳化硅、单晶硅、多晶硅、锗、砷化镓、蓝宝石、陶瓷板、手机面板玻璃、蓝玻璃、石英晶体片材等各种 WAFER 平板材料厚度等几何特征及电学参数的精确测量及记录。

2.适用范围

可用于测量工件尺寸为 Φ2---Φ8(INCH)直径的圆形及方型晶片或其它任意材质的平板。

3.测量精度及量程

厚度量程:100---1800um,测量精度与 WAFER 表面光洁度有些许联系, 即:

测量重复精度(半导体类双拋表面 WAFER):±0.5um ;

测量重复精度(半导体类研磨表面 WAFER): ±1um ;


测量重复精度(蓝宝石类单拋表面 WAFER):±2um ; 4.工作模式选择

本机共有五种测量模式以对应用户不同的需求。

4.1 标准一电测量:按照半导体行业标准对 WAFER 中心点的厚度进行测量。

4.2 标准 5 点测量:按照半导体行业标准对 WAFER 的靠近边沿的 4左上、左下、右上及右下)及中心点的厚度进行测量。

4.3 企业内部标准一点测量:用户自己定义的 WAFER 缺口附近的一个点的厚度进行测量。

4.420 点以内随机点测:用户自己根据生产需要可以在 20 个点以内,用鼠标WAFER 上选择任意位置并对其厚度进行测量。

4.5 连续点测量:在由两个端点确定的一条直线路径上可以进行 100 点的连续厚度测量以检查晶片的表面形态。

5.分选速度

为了保证不造成对 WAFER 表面造成损伤,研究人员建议的安全分选速度为:

>单点或中心测量模式速度: ≥130 片/小时

>标准 5 点测量速度:≥110 片/小时

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